Laser optics ya macho ni maarufu sana katika laini na chakula cha jioni nyembamba PCB. matumizi ya laser ni kwa ajili ya jopo ya Ag etching, ni kuuliza karamu homogeneity ya ukubwa boriti na nyembamba sana mafuta impaction eneo hilo. Ftheta itakuwa muundo tata na mipako.
Carmanhaas hutoa optics za kitaalamu za etching laser. Vipengele vya macho hasa hurejelea vipengele vya macho vinavyotumiwa katika uwekaji wa bodi ya mzunguko. Mifumo hii ya macho kwa ujumla inajumuisha mifumo ya skanning ya galvanometer, ikijumuisha vipanuzi vya boriti, galvanometers na lenzi ya skanisho ya F-THETA.
(1) Usahihi wa uso wa Lenzi < λ/5, mpango wa kusanyiko wa lenzi ya lengo inahitajika ili kuhakikisha urefu wa doa ni thabiti;
(2) Umbizo kamili la uthabiti wa doa >95%;
(3) Uthabiti wa ndege ya msingi <0.5mm;
(4) Uwiano wa urefu wa fokasi wa umbizo>1.05.
Lenzi ya F-Theta ya 1064nm
| Maelezo ya Sehemu | Urefu wa Kuzingatia (mm) | Uga wa Scan (mm) | Kuingia kwa Max Mwanafunzi (mm) | Umbali wa Kufanya Kazi(mm) | Kuweka Uzi |
| SL-1064-140-200 | 200 | 140x140 | 14 | 208 | M85x1 |
| SL-1064-185-255-(16CA) | 255 | 185x185 | 16 | 274 | M85x1 |
Kipanuzi cha Boriti cha 1064nm
| Maelezo ya Sehemu | Upanuzi Uwiano | Ingiza CA (mm) | Pato CA (mm) | Kipenyo cha Makazi (mm) | Makazi Urefu (mm) | Kuweka Uzi |
| BE-1064-D23:40.5-1.5x | 1.5X | 10 | 20.7 | 27 | 40.5 | M22*0.75 |
| BE4-(1030-1090)-D35:163.9-Z14x | 1X-4X | 20 | 35 | 44 | 163.9 | / |
| BE4-(1030-1090)-D34:162.6-Z210x | 2X-10X | 14 | 34 | 40 | 162.6 | / |
Kioo cha 1064nm
| Kipenyo (mm) | Unene (mm) | Mipako |
| 25.4 | 6.35 | HR@1030-1090nm,45° AOI |
| 30 | 5 | HR@1030-1090nm,45° AOI |
| 50 | 10 | HR@1030-1090nm,45° AOI |
